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椭圆偏振法测量已在光学、半导体、生物、医学等诸多领域得到广泛的应用。因为它具有灵敏度高、精度高、非破坏性测量等优点。 椭圆偏振测厚仪特点： ·仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度高、灵敏度高以及方便测量等特点； ·光源采用氦氖激光器，功率稳定波长精度高； ·仪器配有生成表、查表以及精确计算等软件，方便用户使用。 椭圆偏振测厚仪主要技术指标： 测量范围 薄膜厚度范围：1nm-300nm；折射率范围：1.05-2.50 测量最小值：≤1nm 入射光波长：632.8nm 光学中心高：80mm 允许样品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤18mm 偏振器方位角范围：0°- 180°读取分辨率为0.05° 外形尺寸：680*390*320mm 测量膜厚和折射率重复性精度分别为：±0.5nm和±0.005 主机重量：25kg 入射角连续调节范围：30°- 90°精度为0.05°